发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0242725(A) 申请公布日期 1990.02.13
申请号 JP19880192716 申请日期 1988.08.03
申请人 HITACHI LTD 发明人 NISHIOKA TAIJO;OJI YUZURU
分类号 H01L29/78;H01L21/316 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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