发明名称 MANUFACTURE OF HYBRID INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH0239546(A) 申请公布日期 1990.02.08
申请号 JP19880190419 申请日期 1988.07.29
申请人 ORIGIN ELECTRIC CO LTD 发明人 KIKUCHI TADAO;SATO MINORU
分类号 H01L21/56 主分类号 H01L21/56
代理机构 代理人
主权项
地址