发明名称 PIEZOELECTRIC ACTUATOR
摘要
申请公布号 SU1541741(A1) 申请公布日期 1990.02.07
申请号 SU19874382033 申请日期 1987.12.25
申请人 INST ANALIT PRIBOROSTR AN SSSR 发明人 GOLUBOK ALEKSANDR O,SU;DAVYDOV DMITRIJ N,SU;TIMOFEEV VLADIMIR A,SU;TIPISEV SERGEJ YA,SU
分类号 H02N2/04;H01L41/08;H01L41/09;H02N2/00 主分类号 H02N2/04
代理机构 代理人
主权项
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