发明名称 FORMATION OF METAL SILICIDE WIRING
摘要
申请公布号 JPH0237722(A) 申请公布日期 1990.02.07
申请号 JP19880187625 申请日期 1988.07.27
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 IGARASHI YASUSHI;YAMAJI TETSUO
分类号 H01L21/3205;H01L21/28;H01L23/52 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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