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发明名称
METHOD FOR GROWING THIN FILM AND APPARATUS THEREFOR
摘要
申请公布号
JPH0238397(A)
申请公布日期
1990.02.07
申请号
JP19880188757
申请日期
1988.07.27
申请人
NEC CORP
发明人
TATSUMI TORU
分类号
C30B23/08
主分类号
C30B23/08
代理机构
代理人
主权项
地址
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