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发明名称 DEVICE FOR VISUAL COMPARISON AND CHECK OF WAFER
摘要
申请公布号 JPH0237740(A) 申请公布日期 1990.02.07
申请号 JP19880187441 申请日期 1988.07.27
申请人 NEC CORP 发明人 NAKAHIRA MAMORU;WAKAO IKUTAROU
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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