发明名称 |
PHOTOSENSITIVE POLYMER HAVING THIOL GROUPS |
摘要 |
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申请公布号 |
EP0348092(A3) |
申请公布日期 |
1990.02.07 |
申请号 |
EP19890305994 |
申请日期 |
1989.06.13 |
申请人 |
CHISSO CORPORATION |
发明人 |
MAEDA, HIROTOSHI;KUNIMUNE, KOUICHI |
分类号 |
G03F7/012;C08G73/10;C08G73/14;G03F7/037;G03F7/038;(IPC1-7):G03F7/10 |
主分类号 |
G03F7/012 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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