OPTICAL SYSTEM FOR EXCIMER LASER BEAM,申请号JP19880180194-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	OPTICAL SYSTEM FOR EXCIMER LASER BEAM
摘要
申请公布号	JPH0232317(A)	申请公布日期	1990.02.02
申请号	JP19880180194	申请日期	1988.07.21
申请人	KANAGAWA PREF GOV	发明人	KARASAWA SHIRO;OYA SEISHIRO
分类号	G02B27/09;G02B27/00;H01S3/101	主分类号	G02B27/09
代理机构		代理人
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