发明名称 MANUFACTURE OF SEMICODNUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0231446(A) 申请公布日期 1990.02.01
申请号 JP19880182207 申请日期 1988.07.20
申请人 NEC CORP 发明人 TAKESHIRO SHINICHI
分类号 H01L23/52;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/522 主分类号 H01L23/52
代理机构 代理人
主权项
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