发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH0231445(A) |
申请公布日期 |
1990.02.01 |
申请号 |
JP19880181371 |
申请日期 |
1988.07.20 |
申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
OWADA NOBUO;HORIUCHI MITSUAKI;NITTA TAKEHISA |
分类号 |
H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/768 |
主分类号 |
H01L21/302 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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