发明名称 LAMINATED CHANNEL LAYER
摘要
申请公布号 AU593086(B2) 申请公布日期 1990.02.01
申请号 AU19870071046 申请日期 1987.04.03
申请人 SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES LTD. 发明人 YUICHI MATSUI
分类号 H01L21/20;H01L21/338;H01L29/15;H01L29/201;H01L29/778;H01L29/812;(IPC1-7):H01L29/205;H01L29/80 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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