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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0230136(A) 申请公布日期 1990.01.31
申请号 JP19880181007 申请日期 1988.07.19
申请人 NEC CORP 发明人 OMI SATORU
分类号 H01L21/3205 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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