Process for producing iron garnet coatings.

摘要

Verfahren zur Herstellung von Eisengranatschichten in einer Schichtenfolge unterschiedlicher Ordnung mittels HF-Kathodenzerstäubung unter Verwendung eines überwiegend eine Eisengranatphase neben Restphasen nahezu gleicher Zerstäubungsrate enthaltenden Targets in einem Edelgasplasma einer Ionenenergie der die anwachsende Schicht bombardierenden Ionen kleiner als 10² eV und eines Drucks im Bereich von 0,1 bis 2,0 Pa auf einem Substrat, wobei unter Einspeisung von HF-Leistung mit einer HF-Spannung von etwa 200 Veff in die Targetelektrode (Kathode) bei einer Substrattemperatur kleiner als 460 C zunächst eine amorphe bis röntgenamorphe Eisengranatschicht als Zwischenschicht und danach bei einer Substrattemperatur größer als 520 C eine polykristalline Eisengranatschicht abgeschieden wird unter gleichzeitigem Anlegen einer HF-Spannung an die Substratelektrode von etwa 50 Veff, die linear während der Abscheidung der ersten 5 bis 10 nm Schichtdicke auf ein gegenüber Masse schwebendes Potential zurückgeführt wird.