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发明名称 CONDITIONING A NON-CONDUCTIVE SUBSTRATE FOR SUBSEQUENT SELECTIVE DEPOSITION OF A METAL THEREON
摘要
申请公布号 EP0328944(A3) 申请公布日期 1990.01.31
申请号 EP19890101763 申请日期 1989.02.02
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 JOHNSON, ROBERT W.;LAWRENCE, WILLIAM H.;LEMON, GARY K.;MAGNUSON, ROY H.;MARKOVICH, VOYA R.;PARSONS, RALPH E.;SAMBUCETTI, CARLOS J.
分类号 C23C18/18;C23C18/28;C23C18/30;H05K3/00;H05K3/18;H05K3/38;(IPC1-7):H05K3/18;C23C18/16 主分类号 C23C18/18
代理机构 代理人
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