发明名称 FORMATION OF THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH0225561(A) 申请公布日期 1990.01.29
申请号 JP19880172558 申请日期 1988.07.13
申请人 KOMATSU LTD 发明人 MATSUNO AKIRA;NIRE TAKASHI
分类号 C23C14/04;H05K3/14 主分类号 C23C14/04
代理机构 代理人
主权项
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