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发明名称
FORMATION OF FILM IN VAPOR PHASE
摘要
申请公布号
JPH0222459(A)
申请公布日期
1990.01.25
申请号
JP19880173476
申请日期
1988.07.12
申请人
TOBI CO LTD;HORII KIYOYUKI;MURAYAMA YOICHI
发明人
HORII KIYOYUKI;MURAYAMA YOICHI;KASHIWAGI KUNIHIRO
分类号
C23C14/22;C23C14/24
主分类号
C23C14/22
代理机构
代理人
主权项
地址
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