发明名称 FORMATION OF FILM IN VAPOR PHASE
摘要
申请公布号 JPH0222459(A) 申请公布日期 1990.01.25
申请号 JP19880173476 申请日期 1988.07.12
申请人 TOBI CO LTD;HORII KIYOYUKI;MURAYAMA YOICHI 发明人 HORII KIYOYUKI;MURAYAMA YOICHI;KASHIWAGI KUNIHIRO
分类号 C23C14/22;C23C14/24 主分类号 C23C14/22
代理机构 代理人
主权项
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