发明名称 Method of manufacturing semiconductor device
摘要
申请公布号 US4895811(A) 申请公布日期 1990.01.23
申请号 US19880253171 申请日期 1988.10.04
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA 发明人 INOUE, KAZUHIKO
分类号 H01L21/28;H01L21/337;H01L29/10;H01L29/417;H01L29/808 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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