发明名称 HIGH-SPEED FILM FORMATION
摘要
申请公布号 JPH0219478(A) 申请公布日期 1990.01.23
申请号 JP19880165953 申请日期 1988.07.05
申请人 MITSUBISHI HEAVY IND LTD 发明人 WADA TETSUYOSHI
分类号 C23C24/08;C23C16/30;C23C16/44;C23C16/455 主分类号 C23C24/08
代理机构 代理人
主权项
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