发明名称 METHOD FOR SYNTHESIZING THIN DIAMOND FILM IN VAPOR PHASE
摘要
申请公布号 JPH0218391(A) 申请公布日期 1990.01.22
申请号 JP19880165874 申请日期 1988.07.05
申请人 TOYO KOHAN CO LTD 发明人 NIKA MICHIFUMI;CHIJIIWA KEISUKE;SUETSUGU HIROYUKI;KONDO YOSHIKAZU
分类号 C30B29/04 主分类号 C30B29/04
代理机构 代理人
主权项
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