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发明名称 ION IMPLANTING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0215548(A) 申请公布日期 1990.01.19
申请号 JP19880165024 申请日期 1988.07.04
申请人 HITACHI LTD 发明人 SHIMOMA GOROKU;SAKAI KATSUHIKO
分类号 H01J37/20;H01J37/317 主分类号 H01J37/20
代理机构 代理人
主权项
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