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发明名称 VERFAHREN ZUR TOLERANZARMEN DURCHFUEHRUNG DER GOLDDIFFUSION
摘要
申请公布号 DD275343(A1) 申请公布日期 1990.01.17
申请号 DD19880319572 申请日期 1988.09.07
申请人 INGENIEURHOCHSCHULE MITTWEIDA DIREKTORAT FORSCHUNG/ INTERNAT. BEZIEHUNGEN,DD 发明人 EIFERT,REINER,DD;PRAEDICOW,MICHAEL,DD
分类号 H01L21/225;(IPC1-7):H01L21/225 主分类号 H01L21/225
代理机构 代理人
主权项
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