发明名称 Grids
摘要
申请公布号 GB9812471(D0) 申请公布日期 1998.08.05
申请号 GB19980012471 申请日期 1998.06.11
申请人 EEV LIMITED 发明人
分类号 H01J1/46;H01J3/02;H01J23/02;H01J23/065 主分类号 H01J1/46
代理机构 代理人
主权项
地址