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发明名称 DIFFUSION FURNACE DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0210826(A) 申请公布日期 1990.01.16
申请号 JP19880161757 申请日期 1988.06.29
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 SOSHIRO YUUJI
分类号 H01L21/22;G05D16/04;H01L21/31 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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