发明名称 METHOD FOR TREATING VACUUM CONTACTING SURFACE OF MEMBER FOR VACUUM
摘要
申请公布号 JPH0211768(A) 申请公布日期 1990.01.16
申请号 JP19880160661 申请日期 1988.06.30
申请人 ULVAC CORP 发明人 TAKAHASHI YOSHIKAZU;IIJIMA MASAYUKI
分类号 C23C16/44;H01L21/205 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
主权项
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