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发明名称
METHOD FOR TREATING VACUUM CONTACTING SURFACE OF MEMBER FOR VACUUM
摘要
申请公布号
JPH0211768(A)
申请公布日期
1990.01.16
申请号
JP19880160661
申请日期
1988.06.30
申请人
ULVAC CORP
发明人
TAKAHASHI YOSHIKAZU;IIJIMA MASAYUKI
分类号
C23C16/44;H01L21/205
主分类号
C23C16/44
代理机构
代理人
主权项
地址
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