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发明名称
FORMATION OF THIN OXIDE FILM
摘要
申请公布号
JPH0211752(A)
申请公布日期
1990.01.16
申请号
JP19880161850
申请日期
1988.06.28
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
IMADA KATSUHIRO;KAWAGOE YASUYUKI;YAMANISHI KENICHIRO;TANAKA MASAAKI
分类号
C23C14/08;C23C14/58
主分类号
C23C14/08
代理机构
代理人
主权项
地址
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