发明名称 ELECTRIC DISCHARGE TRIGGER
摘要
申请公布号 JPH028362(A) 申请公布日期 1990.01.11
申请号 JP19880156426 申请日期 1988.06.24
申请人 FUJI ELECTRIC CO LTD 发明人 KONDO KENJI
分类号 C23C14/34;H01L21/203 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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