| 发明名称 |
METHOD OF DEPOSITING HIGH MELTING POINT METAL OR ITS SILICIDE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH027423(A) |
申请公布日期 |
1990.01.11 |
| 申请号 |
JP19880260693 |
申请日期 |
1988.10.18 |
| 申请人 |
L'AIR LIQUIDE;ULVAC CORP |
发明人 |
SUMIYA TORU;MATSUURA MASAMICHI;HIRASE IKUO;DOUNI RUFUAN |
| 分类号 |
C23C16/42;C23C16/46;H01L21/205;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/3205 |
主分类号 |
C23C16/42 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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