发明名称 REDUCTION PROJECTION ALIGNER
摘要
申请公布号 JPH027412(A) 申请公布日期 1990.01.11
申请号 JP19880157593 申请日期 1988.06.25
申请人 HITACHI LTD 发明人 OTA HIROSHI;HAMADA YOSUKE
分类号 F16F1/36;F16F15/08;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30 主分类号 F16F1/36
代理机构 代理人
主权项
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