| 发明名称 |
PRECISION DEVICE HAVING ERRORS ATTRIBUTED TO TERMPERATURE CHANGE REDUCED |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0202630(A3) |
申请公布日期 |
1990.01.10 |
| 申请号 |
EP19860106728 |
申请日期 |
1986.05.16 |
| 申请人 |
DISCO ABRASIVE SYSTEMS, LTD. |
发明人 |
SEKIYA, SHINJI |
| 分类号 |
B23D59/00;B23Q11/00;G01B5/00;G05B19/404;(IPC1-7):H01L21/68;G01B21/00;H01L21/304 |
主分类号 |
B23D59/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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