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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH025544(A) 申请公布日期 1990.01.10
申请号 JP19880156087 申请日期 1988.06.24
申请人 SONY CORP 发明人 KASHIWANUMA AKIO
分类号 H01L21/762;H01L21/20;H01L21/3205;H01L21/331;H01L21/76;H01L21/763;H01L21/84;H01L23/52;H01L29/41;H01L29/73 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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