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发明名称 SUBSTRATE HOLDER FOR WAFERS DURING MBE GROWTH
摘要
申请公布号 EP0227228(A3) 申请公布日期 1990.01.10
申请号 EP19860307822 申请日期 1986.10.09
申请人 GOULD INC. 发明人 NILSSON, BOO
分类号 C30B23/08;C30B23/06;H01L21/203;(IPC1-7):H01L21/203;H01L21/68 主分类号 C30B23/08
代理机构 代理人
主权项
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