发明名称 |
APPARATUS FOR PULLING UP SINGLE CRYSTAL |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH026381(A) |
申请公布日期 |
1990.01.10 |
申请号 |
JP19880143691 |
申请日期 |
1988.06.13 |
申请人 |
TOSHIBA CERAMICS CO LTD |
发明人 |
NISHIKAWA CHIHIRO;YAMATO MITSUHIRO;TSUJI RYUICHI;ITO HIROMI |
分类号 |
C30B15/12;C30B30/04;H01L21/208 |
主分类号 |
C30B15/12 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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