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发明名称 ION BEAM INJECTOR AND ITS CONTROL METHOD
摘要
申请公布号 JPH025351(A) 申请公布日期 1990.01.10
申请号 JP19890003632 申请日期 1989.01.10
申请人 EATON CORP 发明人 MAABIN FUAAREI
分类号 H01J37/317;G21K1/14;H01J37/02;H01L21/265 主分类号 H01J37/317
代理机构 代理人
主权项
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