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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH025517(A) 申请公布日期 1990.01.10
申请号 JP19880157297 申请日期 1988.06.24
申请人 NEC CORP 发明人 TERADA KAZUO
分类号 H01L21/76;H01L21/205;H01L21/336;H01L21/84;H01L29/78 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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