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发明名称 Method of ion implantation
摘要
申请公布号 US4892752(A) 申请公布日期 1990.01.09
申请号 US19880227255 申请日期 1988.08.02
申请人 OKI ELECTRIC INDUSTRY CO., LTD. 发明人 FUKUDA, HISASHI
分类号 H01J37/08;H01J37/317 主分类号 H01J37/08
代理机构 代理人
主权项
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