| 发明名称 |
DETECTEUR DE PARTICULES IONISANTES. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2618258(B1) |
申请公布日期 |
1990.01.05 |
| 申请号 |
FR19870010118 |
申请日期 |
1987.07.17 |
| 申请人 |
CENTRE SUISSE ELECTRO MICROTECHN |
发明人 |
RAYMOND GUYE;RAYMOND VUILLEUMIER |
| 分类号 |
G01T1/24;H01L31/09;H01L31/115;(IPC1-7):H01L31/06;G01J1/24 |
主分类号 |
G01T1/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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