发明名称 Vacuum chuck
摘要
申请公布号 GB2220157(A) 申请公布日期 1990.01.04
申请号 GB19880027792 申请日期 1988.11.28
申请人 * M P L PRECISION LIMITED 发明人 LESLIE ERNEST * MULLINER
分类号 B25B11/00;H01L21/683 主分类号 B25B11/00
代理机构 代理人
主权项
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