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发明名称 REACTEUR DE DEPOT EN PHASE VAPEUR
摘要
申请公布号 FR2618799(B1) 申请公布日期 1989.12.29
申请号 FR19870010666 申请日期 1987.07.27
申请人 INSTITUT NAL RECHER CHIMIQUE APP 发明人 GILBERT BARALE;JEAN-CLAUDE IZARD;FRANCOIS RIZZETTO;JEAN-PIERRE COUDERC;CHRISTIAN GACHEN;ROLAND MORANCHO
分类号 B01J19/00;C23C14/22;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/46;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):C23C16/00;H01L21/203 主分类号 B01J19/00
代理机构 代理人
主权项
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