发明名称 PHOTODEFINABLE INTERLEVEL DIELECTRICS
摘要 Des éthers de produits de condensation de phénol-dialdéhyde oligomérique contenant des fractions de benzyle vinylique dans au moins la moitié des fractions d'éther sont d'excellents prépolymères photosensibles. Par un masquage simple et une irradiation avec une large gamme de types d'irradiation, on peut configurer sélectivement une telle résine comme revêtement en dissolvant les parties non irradiées et non photoréticulées du prépolymère à l'aide d'une grande variété de solvants communs. La solubilité différentielle remarquable entre les régions photoréticulées et non réticulées du polymère permet d'obtenir une excellente résolution avec une bonne définition de bordure. Le durcissage thermique ultérieur permet d'obtenir un solide vitreux infusible sans vide avec un rétrécissage minimum, des caractéristiques de planarité excellentes, et une résistance élevée au fissurage.
申请公布号 WO8912846(A1) 申请公布日期 1989.12.28
申请号 WO1989US02780 申请日期 1989.06.23
申请人 ALLIED-SIGNAL INC. 发明人 ZUPANCIC, JOSEPH, J.
分类号 G03F7/027;G03F7/038;H01L21/027;(IPC1-7):G03C1/68;G03F7/10 主分类号 G03F7/027
代理机构 代理人
主权项
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