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发明名称 HEAT TREATMENT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01318888(A) 申请公布日期 1989.12.25
申请号 JP19880151416 申请日期 1988.06.20
申请人 TEL SAGAMI LTD 发明人 MORITA YOICHI
分类号 F27D3/12;F27D3/06;H01L21/22 主分类号 F27D3/12
代理机构 代理人
主权项
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