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发明名称
SOURCE BOARD FOR HYDRIDE VPE
摘要
申请公布号
JPH01317195(A)
申请公布日期
1989.12.21
申请号
JP19880146370
申请日期
1988.06.14
申请人
NEC CORP
发明人
MISAKI TOSHIYUKI
分类号
C30B25/14;H01L21/205
主分类号
C30B25/14
代理机构
代理人
主权项
地址
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