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发明名称 VORRICHTUNG ZUM NASSAETZEN VON DUENNEN FILMEN
摘要
申请公布号 DE3820591(A1) 申请公布日期 1989.12.21
申请号 DE19883820591 申请日期 1988.06.16
申请人 TEXAS INSTRUMENTS DEUTSCHLAND GMBH, 8050 FREISING, DE 发明人 ENDL, HELMUT, DR.-ING., 8050 FREISING, DE;RINCK, HELMUT, 8051 LANGENBACH, DE
分类号 H01L21/306;C23F1/08 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
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