FORMATION OF SOI STRUCTURE,申请号JP19880147293-传众专利搜索

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发明名称	FORMATION OF SOI STRUCTURE
摘要
申请公布号	JPH01315129(A)	申请公布日期	1989.12.20
申请号	JP19880147293	申请日期	1988.06.15
申请人	SANYO ELECTRIC CO LTD	发明人	HANABUSA HIROSHI;OGATA HIDEKANE;YONEDA KIYOSHI
分类号	H01L21/203;H01L21/86	主分类号	H01L21/203
代理机构		代理人
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