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发明名称 PLASMA TREATMENT
摘要
申请公布号 JPH01315136(A) 申请公布日期 1989.12.20
申请号 JP19890051301 申请日期 1989.03.03
申请人 TEL SAGAMI LTD 发明人 TANAKA SUSUMU;SHIMADA YUTAKA;FUKUOKA SUSUMU
分类号 C23C16/50;C23C16/511;C23F1/08;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
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