| 发明名称 |
VESSEL AND SYSTEM FOR TREATING WAFERS WITH FLUIDS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2178594(B) |
申请公布日期 |
1989.12.20 |
| 申请号 |
GB19850026770 |
申请日期 |
1985.10.30 |
| 申请人 |
CHRISTOPHER FRANK * MCCONNELL |
发明人 |
CHRISTOPHER FRANK * MCCONNELL |
| 分类号 |
H01L21/306;B05C3/109;B08B3/10;B08B7/00;C23C16/54;C30B33/00;H01L21/00;H01L21/02;H01L21/302;H01L21/304;H01L21/67;H01L21/673;H01L21/677 |
主分类号 |
H01L21/306 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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