发明名称 COMPOUND-SEMICONDUCTOR CRYSTAL GROWTH METHOD
摘要
申请公布号 JPH01313927(A) 申请公布日期 1989.12.19
申请号 JP19880146560 申请日期 1988.06.14
申请人 FUJITSU LTD 发明人 OTSUKA NOBUYUKI;OZEKI MASAHIKO
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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