发明名称 LOW-PRESSURE CVD DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01312823(A) 申请公布日期 1989.12.18
申请号 JP19880143956 申请日期 1988.06.10
申请人 NEC KYUSHU LTD 发明人 SASAHARA KATSUYUKI
分类号 H01L21/205;H01L21/31 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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