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发明名称 METHOD OF SELECTIVE DIFFUSION BY LASER
摘要
申请公布号 JPH01312824(A) 申请公布日期 1989.12.18
申请号 JP19880143486 申请日期 1988.06.13
申请人 KANAGAWA PREF GOV;MORIRIKA:KK 发明人 KARASAWA SHIRO;KURIHARA YUKIO;OYA SEISHIRO;YAMANAKA MORIHIDE;HASEGAWA YUTAKA
分类号 H01L21/22;H01L21/268 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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