发明名称 FRAME TRANSPORTING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01310884(A) 申请公布日期 1989.12.14
申请号 JP19880142225 申请日期 1988.06.09
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 FUJII MUTSUO
分类号 B25J15/06;H01L21/50 主分类号 B25J15/06
代理机构 代理人
主权项
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