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发明名称 PLASMA APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH01309955(A) 申请公布日期 1989.12.14
申请号 JP19880139306 申请日期 1988.06.08
申请人 HITACHI LTD 发明人 ONO YASUNORI;NAKAGAWA YUKIO;NATSUI KENICHI
分类号 C23C14/22 主分类号 C23C14/22
代理机构 代理人
主权项
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